簡練設(shè)計(jì)的手動(dòng)式整面單次曝光裝置。

主要特長

  • 對應(yīng)玻璃、Wafer、膠片等基材的實(shí)驗(yàn)研究用手動(dòng)整面單次曝光機(jī)。也適合小批量生產(chǎn)。
  • 可選擇接觸曝光(軟接觸、硬接觸)和近接曝光。
  • 對應(yīng)*大尺寸為500mm×500mm的基板。根據(jù)用途和基板尺寸,配置有*佳組合的光學(xué)系統(tǒng)。其中包括:超高壓水銀燈(500W?1kW?2kW?3.5kW)、各種光學(xué)鏡、特殊鏡頭、聚光鏡等。
實(shí)驗(yàn)?研究用曝光裝置

主要規(guī)格

MA-1200、MA-1300、MA-1400

  MA-1200 MA-1300 MA-1400
基板尺寸 *大 200 x 200mm ?4″ ～ ?6″ *大 ?300 *大 400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 ：500W or 1kW 超高壓水銀燈 ：1kW 超高壓水銀燈 ：2kW or 3.5kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W1240 x D1100 x H1725 mm W1675 x D1400 x H1883 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
本體重量 400kg 700kg(包含無塵機(jī)房) 400kg(包含無塵機(jī)房)
光源重量 － 250kg 250kg
選購項(xiàng) 無塵機(jī)房、背面對位、硬接觸(真空密著式)、自動(dòng)對位、對應(yīng)破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽